[E-DailyHan Kwangbeom 金素妍 记者] 三星电子（SamsungElectronics(005930)）将把在半导体工厂积累的制造与设备管理经验推广至全国14家公共研究设施。该计划旨在提升中小半导体企业及大学、研究机构所使用的公共晶圆厂（Fab）的运营水平，并提供高价半导体设备，从而强化国内半导体研发基础。

科学技术信息通信部与三星电子11日宣布，已在京畿道水原的韩国纳米技术院（KANC）举办了“公共纳米Fab运营效率化咨询结果汇报会及二手设备移交仪式”。科学技术信息通信部第一副部长具赫采、三星电子DS部门共生合作中心长（副总裁）池贤基、韩国纳米技术院院长卞大石等30余名相关人士出席了活动。

该项目是去年3月科技信息通信部与三星电子、SK海力士、DB海泰克等三家半导体企业签署业务协议后的后续举措。三星电子正将此前面向半导体合作伙伴开展的“材料、零部件及设备贴近实际的咨询”服务，扩展至公共研究设施领域。

三星电子DS事业部共生合作中心于今年6月至10月的5个月间，针对韩国纳米技术研究院的半导体制造设施，在安全环境、现场管理、设备启动及设备运营等4个领域挖掘了改进课题。专业顾问亲自走访现场，检查设施运行状况，并制定了符合公共晶圆厂特性的改进方案。

◇引入三星量产工厂的管理模式……实现安全与设备运营标准化

公共纳米晶圆厂是旨在支持中小企业、大学及研究机构等利用半导体研发所需设备和制造工艺的设施。三星电子将数十年来在半导体生产现场积累的管理经验应用于公共晶圆厂，重点提升运营效率和安全性。

具体而言，对各类设备的标准操作规程（SOP）、检查表以及培训与运营标准进行了完善。明确了每台设备所需的管理项目和检查流程，以便系统地确认设备状态。

特别是，三星电子基于量产工厂的管理经验，首次开发了针对公共纳米工厂的定制化“现场检查手册”。该手册制定了标准流程，以便对安全和设备状态进行常态化检查，未来计划在其他公共研究设施中推广应用。

三星电子自2023年以韩国科学技术院（KAIST）纳米综合技术院为起点，持续开展公共纳米工厂咨询工作。此后，将支持范围扩大至纳米融合技术院等机构，并计划将此次在韩国纳米技术院咨询中总结的改进案例推广至其他机构。

◇高价半导体设备再利用……强化研究机构测量能力

同时，还同步开展针对公共晶圆厂的设备支持工作。三星电子通过科技信息通信部的“MoaFab二手设备利用支持项目”，将原有生产设施中闲置的设备转移至公共研究设施，并提供安装支持。

此次移交至韩国纳米技术研究院的设备是“自动图案薄膜测量设备”。该设备可在不损伤晶圆的情况下，精确测量8英寸半导体晶圆上形成的单层及多层薄膜的厚度和光学特性。

薄膜是在半导体晶圆上形成的薄物质层，准确掌握其厚度和特性对工艺管理至关重要。韩国纳米技术研究院通过引进该设备，将获得此前不具备的8英寸晶圆自动薄膜测量能力。

该设备将用于支持中小型半导体企业以及大学、研究机构的研发和技术支持工作。韩国纳米技术院还计划将其与现有的工艺支持服务及专业人才培养计划相结合。

三星电子计划将此次咨询中发掘的优秀案例，与科学技术信息通信部、国家纳米基础设施协商体共同汇总，并推广至“GomaFab”项目的14家参与机构。韩国电子通信研究院（ETRI）专用半导体技术中心、首尔大学半导体联合研究所、大邱庆北科学技术院（DGIST）下一代传感器·半导体研究所等将成为后续应用对象。

三星电子DS事业部共生合作中心主任池贤基表示：“我们希望助力形成一种共生良性循环，即三星电子积累的制造创新经验通过公共纳米工厂，再次传递给研究人员和材料、部件、设备企业。”他补充道：“特别是对于此次开发的咨询模式向其他‘MoaFab’参与机构推广的过程，我们将持续参与其中，为增强国内半导体生态系统的竞争力做出持续贡献。”

科学技术信息通信部第一副部长具赫采表示：“将民间的设备和技术诀窍转化为公共研究基础设施的官民合作正变得愈发重要”，并称“我们将积极支持半导体技术创新和专业人才培养”。