[E-DailyHan Kwangbeom 记者]SamsungElectronics(005930)将向公共研究设施传授其在半导体工厂积累的设备运营经验，并提供闲置的半导体设备。此举旨在支持大学、研究机构以及半导体材料、零部件和设备企业通过公共研究设施开展半导体技术研发。

科学技术信息通信部11日宣布，已在京畿道水原的韩国纳米技术院举办了“三星电子-韩国纳米技术院公共纳米工厂运营效率化咨询结果报告会及二手设备移交仪式”。

此次活动是科技信息通信部去年3月与三星电子、SK海力士、DB海泰克等三家半导体企业签署业务协议后的后续举措。三星电子DS事业部共生合作中心于今年6月至10月期间，历时约4个月，针对改善韩国纳米技术研究院半导体研究设施的运营开展了咨询工作。

此前，三星电子还向纳米综合技术院和纳米融合技术院传授了半导体生产设施的运营经验。此次对韩国纳米技术院的咨询，是将民营企业积累的生产现场管理经验应用于公共研究设施的合作举措的延续。

◇引入三星制造现场运营模式……改善设备安全与管理体系

公共纳米工厂是支持大学、研究机构及企业等利用半导体研发所需工艺和设备的设施。三星电子将此前针对半导体材料、零部件及设备合作伙伴开展的“材料、零部件及设备贴近实际咨询”项目，调整后应用于公共纳米工厂的运营环境。

具体而言，对各类设备的标准操作规程（SOP）、检查表以及培训与运营标准进行了完善。其目的是明确每台设备所需的操作流程和管理标准，从而提高研究设施的运营效率和安全性。

特别是，三星电子首次开发了融入量产工厂设备检修经验的、针对公共纳米工厂的定制化“现场检修手册”。该手册制定了标准流程，使研究设施能够对设备状态和安全进行常态化检查，这标志着将民营企业的管理方式调整并应用到了公共研究设施中。

◇民间闲置设备再利用……确保8英寸半导体工艺分析能力

三星电子还将把闲置的半导体设备移交至公共研究设施。此次移交至韩国纳米技术研究院的设备是“自动图案薄膜测量设备”，能够在不损伤晶圆的情况下，精确测量8英寸半导体晶圆的单层及多层薄膜厚度和光学特性。

薄膜是在半导体晶圆上形成的薄物质层，准确测量其厚度和特性对工艺管理至关重要。该设备此前主要用于在研发过程中确认薄膜状态并检查工艺流程。

韩国纳米技术研究院通过此次设备移交，将获得此前不具备的8英寸晶圆自动薄膜测量能力。该院计划将其应用于企业、大学及研究机构的研发和技术支持，并将其与现有研究设施服务及专业人才培养计划相结合。

此次设备移交是通过科学技术信息通信部的“MoaFab二手设备利用支持项目”实现的。该项目旨在将企业持有的闲置半导体设备转移至公共纳米工厂，并为其提供移交和安装费用支持。这是将民间闲置设备重新用于研发现场的一种方式。

三星电子DS事业部共生合作中心主任（副总裁）池贤基表示：“我们希望助力形成一种共生良性循环，让三星电子积累的制造创新经验通过公共纳米工厂，再次传递给研究人员和材料、部件、设备企业。”他承诺：“特别是对于此次开发的咨询模式向其他‘MoaFab’参与机构推广的过程，我们将持续参与其中，为增强国内半导体生态系统的竞争力做出持续贡献。”

政府计划将这一合作模式扩展至其他公共研究设施。韩国电子通信研究院（ETRI）专用半导体技术中心、首尔大学半导体共同研究所、大邱庆北科学技术院（DGIST）下一代传感器·半导体研究所等均在扩展范围内。计划将咨询结果和现场检查手册分享给所有MoaFab参与机构，并分阶段予以实施。

科学技术信息通信部第一副部长具赫采表示：“将民间的设备和专业知识转化为公共研究基础设施的官民合作正变得日益重要”，并强调“我们将积极支持半导体技术创新和专业人才培养”。