[E-DailyShin Yeong-bin 记者]SamsungElectronics(005930)正逐步落实其“自主型晶圆厂”构想，即在半导体工厂中将设备检查和维护等非标准化作业也交由机器人完成。该战略旨在通过将多台机器人连接成一个系统，从而提升工厂的无人化水平。

据20日韩国专利厅知识产权信息检索服务（KIPRIS）显示，三星电子于4日公开了“异构机器人控制方法及其系统”专利。该专利于去年2月提交申请。

该专利瞄准半导体工厂这一点尤为引人注目。三星电子指出，虽然晶圆搬运等标准化生产作业已经实现自动化，但在设备维护等非标准化作业中，仍需要人工介入。

据解释，随着人工智能（AI）和机器人技术的发展，未来需要对自主移动机器人（AMR）、协作机器人、类人机器人等的运输和作业进行集成控制，并将其与晶圆厂内部系统相连接。

三星电子在专利中明确指出，可通过独立的机器人控制系统（RCS）连接协作机器人和类人机器人等多种形式的机器人。

其构想是利用机器人填补半导体工厂中已实现相当程度自动化的空白。例如，当需要设备检修时，系统会定位所需零部件的位置并派遣机器人，从而实现从零部件获取到维护作业的全自动流程。

三星电子提出了一种在单一上级系统中管理不同类型机器人的架构。该系统在协调多台AMR（自主移动机器人）运动的同时，还与仓库管理系统（WMS）、电梯管理系统（EMS）、制造执行系统（MES）以及充电器等设备相连。

系统还会确认机器人同一空间内移动时是否会发生相互阻碍的“死锁”现象，并据此调整作业顺序和移动路径。作业结束后，系统会将结果反馈至系统中。用户可以调整机器人的移动速度、作业时施加的力、移动模式及行进路线等参数。

工厂和机器人的运动通过数字孪生技术实现可视化，使管理人员能够一目了然。该专利解释称，通过这种方式可以提高自动化水平，并最终实现“设备无人化”。

今年3月在NVIDIA GTC 2026上公开的自主化晶圆厂的具体运营方式，也在本次专利中得到部分印证。当时，三星电子展示了AMR运送设备检修所需工具，人形机器人接过工具并检查设备的场景。

信息技术（IT）服务子公司的动向也备受瞩目。三星SDS（SAMSUNG SDS CO., LTD.(018260) ）正在推进将多台机器人与生产设备连接并进行集成管理的“机器人编排”业务。该公司还公布了计划于明年推出自有平台的计划。

三星电子的专利同样包含在单一系统中管理多种机器人，并与MES、WMS等工厂系统联动的架构，由此可见这两项技术的发展方向相当相似。

鉴于三星电子正在半导体工厂中扩大机器人应用，而三星SDS则在着力发展整合运营这些机器人的平台业务，双方未来合作的可能性也备受关注。

三星电子DS部门AI中心负责人（副总裁）宋容浩在今年3月的GTC大会上表示：“代理式AI必须从头到尾协调整个流程”，并强调了将整个晶圆厂以数字孪生形式实现的必要性。